先導中心接待陝西科技大學學生參觀實習
發布時間：2025-04-30
7月6日，陝西半導體先導技術中心接待了陝西科技大學輕工科學與工程學院（柔性電子學院）印刷工程系大三本科生與部分研究生的參觀實習，向學生展示了第三代半導體SiC、GaN工藝流程、中文产品及應用場景。
工藝平台資深技術人員陪伴學生參觀了第三代半導體氮化镓和碳化矽展廳，詳細講解了半導體配套設備設施、外延到劃片工藝設備以及工藝流程，學生們通過近距離接觸和結合工程師的講解，對半導體制造工藝流程及其設備有了深刻認識。
先導中心工藝平台擁有千級淨化廠房2000余平方米，及化合物半導體外延材料生長MOCVD設備、薄膜沈積、光刻機、勻膠顯影、幹法和濕法刻蝕、高溫爐管、金屬蒸鍍、化學清洗、激光剝離、鍵合、研磨抛光、激光劃片、刀片劃片、SEM、XRD等芯片工藝設備，具備外延材料和器件中試工藝能力。
同時可提供第三代半導體技術成果轉化、産學研聯合攻關和人才培養實訓服務，包括前沿中文产品研制、中文产品工程化驗證、小批量生産等中試服務，及工程型人才培養、學生實習實訓等技術服務。
先導中凶霸“樹芯計劃”爲品牌，圍繞集成電路設計、半導體封裝測試、SiC、GaN第三代半導體器件的設計、工藝制造及應用方向開展實習實訓、校企合作、技術論壇、政企培訓等各項活動，先導中心將繼續充分發揮平台優勢，服務于陝西省內各高校、企業，促進陝西半導體産業發展。
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